Refroidisseur d'eau de laboratoire ｜ opération facile personnalisable programme de contrôle de la température

Refroidisseur d'eau de laboratoire ｜ opération facile personnalisable programme de contrôle de la température

Refroidisseur d'eau de laboratoire ｜ opération facile personnalisable programme de contrôle de la température

Voici les points clés de l'analyse technique et de l'application de la machine de refroidissement profond à fréquence variable pour fournir une source froide au processus de fabrication de semi - conducteurs, en combinaison avec les besoins de l'industrie et les données de recherche:

I. scénarios d'application de base dans la fabrication de semi - conducteurs

1Processus clés de fabrication de plaquettes

Processus de lithographie: nécessite un refroidissement rapide des composants de source lumineuse de la machine de lithographie（Comme les lasers, les lentilles) etPour éviter les fluctuations de température entraînant des changements de viscosité de la colle photolithographique, affectant la précision de l'exposition. Machine de refroidissement profond à fréquence variable par régulation dynamique de la vitesse du compresseur, pour atteindre±0.1℃Précision de contrôle de la température pour garantir la résolution de la puce.

2Gravure et dépôt de film

Gravure plasma etCVD et PVDDans le processus, la température de la cavité de réaction doit être stabilisée dans-40℃~200℃Large domaine de température, machine de refroidissement profond à fréquence variable par système de réfrigération à plusieurs étages（Comme la plaque de réfrigération semi - conductrice en série) etLa chaleur est rapidement dérivée, ce qui affecte les réactions secondaires et améliore l'uniformité du film.

3Nettoyage et polissage des plaquettes

La température du liquide de nettoyage doit être contrôlée avec précision pour empêcher la solution chimique d'endommager la surface de la plaquette en raison des fluctuations de température;CMPRefroidissement des tampons de polissage dans le processus, réduisant les défauts de surface causés par la chaleur de frottement.

4Encapsulation et test

Durcissement des puces, recuit et autres processus de canal arrière, la machine de refroidissement profond fournit-80℃Environnement à basse température（Comme l'utilisation d'éthylène glycol réfrigérant) et, accélérer le processus de durcissement et réduire les contraintes thermiques, améliorer la fiabilité de l'emballage.

II. Sélection et opérations

Capacité de refroidissement assortie

Une marge redondante doit être réservée en fonction de la charge thermique maximale du processus, par exemple, la dissipation de chaleur nominale d'un certain équipement de gravure50 kW, sélectionnez la quantité de froid formulée≥60kWUnité de refroidissement profond.

Adaptation environnementale

Configuration requise pour les scènes de salle blancheHEPASystème de filtration;Environnement corrosif préférez les matériaux en alliage de titane;Exigences antidéflagrantes l'occasion est sélectionnée avec le modèle antidéflagrant isolé.

Avec un large domaine de température, une haute précision et des avantages intelligents, la machine de refroidissement profond à fréquence variable doit prendre en compte l'adaptation du processus, vous pouvez contacter les ingénieurs thermostatiques de Guanya pour vous fournir un service de sélection.