Réfrigérateur de laboratoire chimique ｜ non standard personnalisé pour répondre exactement aux besoins

Réfrigérateur de laboratoire chimique ｜ non standard personnalisé pour répondre exactement aux besoins

Réfrigérateur de laboratoire chimique ｜ non standard personnalisé pour répondre exactement aux besoins

Le refroidisseur d'eau de l'usine de semi - conducteurs dans les applications de contrôle de la température à haute décharge doit répondre à des exigences strictes de stabilité de la température, de dissipation rapide de la chaleur et de résistance à la corrosion, et voici son scénario d'application principal et son analyse des points techniques:

I. applications typiques dans les scénarios à haute émission de chaleur

1, processus de gravure（Comme la gravure plasma) et

Le champ électrique à haute fréquence produit une température instantanée élevée, le refroidisseur d'eau doit dissiper rapidement la chaleur pour maintenir la température de la cavité stable et éviter les fluctuations du taux de gravure.

2, implantation ionique

Le faisceau d'ions à haute énergie produit de la chaleur concentrée lorsqu'il bombarde la plaquette, le refroidisseur d'eau doit refroidir le disque cible et les composants du faisceau pour éviter les dommages au réseau et le dopage inégal.

3Diffusion et oxydation

Lorsque la température du corps du four est élevée, le refroidisseur d'eau doit rapidement retirer la chaleur, empêcher la surchauffe du corps du four et maintenir l'uniformité de la température, éviter le gauchissement de la plaquette en raison du stress thermique.

4Polissage mécano - chimique(CMP) et

Le frottement de polissage produit des températures élevées qui peuvent facilement provoquer la volatilisation du liquide de polissage, le refroidisseur d'eau doit refroidir le tapis de polissage et le système de transmission, réduisant ainsi les défauts de surface.

5Dépôt de film mince(CVD et PVD) et

Le gaz à haute température de la cavité de réaction doit être refroidi rapidement pour éviter les réactions secondaires;Le refroidissement de la cible par pulvérisation prolonge la durée de vie et améliore l'uniformité du film.

II. Difficultés techniques et solutions pour le contrôle de la température exothermique élevée

1Contrôle de température de haute précision

à réaliser±0.5℃Précision du contrôle de la température, grâce à un système de réfrigération Multi - étages et dynamiquePIDRégulation algorithmique.

2Capacité de refroidissement rapide

Certains scénarios nécessitent un refroidissement différentiel de température important en peu de temps et utilisent un compresseur et un échangeur de chaleur à plaques pour améliorer l'efficacité de la réfrigération.

3Conception à faible vibration et faible bruit

Le capot acoustique du compresseur et la structure d'absorption des chocs empêchent les vibrations d'interférer avec des processus tels que la lithographie.

Intelligence et optimisation de l'efficacité énergétique

Capteur de pression intégré et électrovanne trois voies pour la commutation de la ligne de réduction de pression et de la circulation interne;Le système de surveillance intelligent réduit la consommation d'énergie.

Iii. Points clés du choix du refroidisseur d'eau

1, capacité de refroidissement correspondant

Choisissez une puissance frigorifique légèrement supérieure à la demande en fonction de la dissipation de chaleur de l'appareil（Comme la conception redondante) etPour éviter l'échec du contrôle de la température en raison de la surcharge ou de l'inefficacité.

2Choix du mode de réfrigération

Scénario haute puissance de préférence refroidi à l'eau（Haute efficacité) et, espace restreint avec refroidissement par air（Flexible mais moins efficace) et- Oui.

3Adaptation des matériaux et des procédés

Fonction anti - explosion isolée en option;

L'adoption d'un compresseur à fréquence variable répond aux normes de production de l'usine de semi - conducteurs.

Le scénario de haute exothermie de l'usine de semi - conducteurs pour la précision du contrôle de la température du refroidisseur d'eau, l'efficacité de la dissipation thermique est exigeante, le refroidisseur d'eau semi - conducteur à température Sub - constante de la Couronne prend en charge le contrôle de la température multicanaux, couvrant l'ensemble du processus de la fabrication de la plaquette au test d'emballage, doit combiner les exigences du processus pour personnaliser les options.