Compteur de particules de poussière 0,1 μm en ligne

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Vue d'ensemble

Compteur de particules de poussière laser modèle et - r101fs, l'un des produits du système de surveillance en ligne Suzhou yitai Environmental Technology Co., Ltd. Détection de la plus petite taille des particules jusqu'à 0,1 μm, peut détecter l'environnement propre de iso7 - iso1, débit d'échantillonnage 2,83 L / min, conçu pour l'industrie des semi - conducteurs haute précision détection de l'environnement propre, briser les limites de précision traditionnelles, capture précise de la volatilisation de la photolithographie, les particules polluantes submicroniques résultant de l'usure de l'équipement, répondre aux exigences strictes du processus nanométrique pour la pureté de la classe iso1. Le compteur de particules de poussière 0,1 μm en ligne détecte avec une grande précision, une interface homme - machine conviviale et un fonctionnement simple.

Détails du produit

Compteur de particules de poussière laser modèle et - r101fs (en ligne)

Marque: etiedt

在线0.1μm尘埃粒子计数器

I. Généralités:

Compteur de particules de poussière laser modèle et - r101fs, l'un des produits du système de surveillance en ligne Suzhou yitai Environmental Technology Co., Ltd. Détection de la plus petite taille de particules possible0,1 μm, peut détecter l'environnement propre de l'iso7 - iso1, le débit d'échantillonnage 2.83l / min, spécialement conçu pour l'industrie des semi - conducteurs haute précision détection de l'environnement propre, briser les limites de précision traditionnelles, la capture précise de la volatilisation de la colle de lithographie, l'usure de l'équipement produit des particules polluantes submicroniques, répondre aux exigences strictes du processus nanométrique de pureté de classe iso1. L'instrument a une haute précision de détection, une interface homme - machine conviviale, des fonctions riches et un fonctionnement simple.

Ce produit peut être largement utilisé dansSemi - conducteurs、électronique,Optique,Nouvelles énergies, machines de précision,Chimie, médecine et santé, produits biologiques, aérospatiale，Départements etc.

II. Caractéristiques:

◆ boîtier en acier inoxydable 304 (aluminium Aviation personnalisé disponible)

◆ 5.0 Écran tactile couleur HD surdimensionné, facile à utiliser

◆ taille minimale des particules de détection 0,1 μm, huit canaux

◆ environ 5 millions de stockage de données + exportation de données USB + interconnexion dans le cloud

◆ prise en charge de l'amarrage du système SCADA / mes

◆ système intelligent de gestion de l'alimentation de sécurité ESD

◆ rapport de niveau de pureté ISO 14644 - 1 généré automatiquement

◆ régulation automatique PID avec contrôle actif du débit

◆ besoins anti - déflagrants personnalisés, anti - déflagrants aiguilles seulement pour la coquille anti - déflagrante, spécifique selon la demande du client pour une paire personnalisée.

Iii. Performance:

◆Débit d'échantillonnage: 2,83L/min ±5% (0,1 CFM)
◆Erreur de distribution de la taille des particules;Excellence nationale±20 % FS
◆Erreur de concentration de la valeur indiquée;Excellence nationale±20 % FS
◆Temps propre;Excellence nationale≤8min
◆Erreur relative de répétabilité;Excellence nationale≤8%FS
◆Concentration d'échantillonnage,35 000 / litre
◆àpeu5000000 stockage de données échantillonnées

Iv. Application:

Inspection d'usine propre de semi - conducteur;

Surveillance de la ligne de produits d'encapsulation de Wafer;

Surveillance de la ligne de lithographie;

Optique de précision;

Les nouvelles énergies;

Aérospatiale;

V. paramètres techniques:

Trafic d'échantillonnage	2.83L/min
Fractionnement de la taille des particules	Huit canaux:0,1μm, 0,15μm, 0,2μm, 0,25μm, 0,3μm, 0,5μm, 1,0μm, 5,0μm
Source de lumière laser	Diode laser longue durée de vie, durée de vie >35 000 heures
Concentration d'échantillonnage	1 000 000 / pieds cubes
Échantillonnagemodèle	échantillonnage continu+ comptage en temps réel, échantillonnage par intervalles, comptage cumulé
Efficacité de comptage	50 % @ 0,1 μm; 100% @> 0,15 μm 符合 ISO21501-4
Délai d'échantillonnage	Auto - réglage par l'utilisateur
Intervalle d'échantillonnage	Auto - réglage par l'utilisateur
Accord de communication	Modbus
Moyens de communication	RS485 et Internet
Capacité de mémoire de données	environ5 millionsDonnées de mesure de groupe, interrogeable，Exporter
Affichage à l'écran	5.0coloréHaute définitionÉcran tactile
Méthode d'impression	Non supporté en ligne
électricité La source	La puissance de sortie DC12V (9 - 28vdc) n'est pas inférieure à 12v3a
Normes de référence	ISO 21501-4, GBT29024.4-2017, JJF1190-2008
Interface de communication de données	USB (en anglais)Exporter directement ouIOT système de surveillance en ligne View) et,avec RS485,RJ45
Anneaux État	Environnement d'utilisation:10 ∽40℃ humidité relative 20 ∽95 % RH
	Environnement de stockage:-20℃ ∽ 45℃ humidité relative 0∽95% RH
	Pression atmosphérique:86 à 106 kPa
Accessoires standard	Tête d'échantillonnage isodynamique, tuyau de tête d'échantillonnage, filtre auto - nettoyant, mode d'emploi, rapport d'étalonnage d'origine, certificat de conformité, etc.
Dimensions extérieures	large220Mm × hauteur162Mm × profondeur130Mm (sansBouche d'échantillonnage, lampe d'alarme) et
Matériaux Qualité	304acier inoxydable
lourd Quantité	2.8Kg

Vi. Etiedt tyneteaceae:

Suzhou yitai Environmental Technology Co., Ltd. Société nationale d'essai d'environnement propre application intelligente et innovante entreprise professionnelle de pointe;

La nouvelle force de la marque alternative nationalisée des instruments importés;

Le Service de marque de purification domestique, le Service de qualité de purification;

Instrument de surveillance intelligent pour micro - environnement propre solution complète professional enterprise

Détection d'environnement propre semi - conducteur, la classe de détection du compteur de particules de poussière laser de la série E de yitai - net peut répondre à la détection d'environnement de dix à trois cent mille niveaux;

Compteur de particules de poussière 0,1 μm en ligneSystème de surveillance en ligne;

Compteur de particules de poussière 0,1 μm en ligneSystème de surveillance en ligne de l'environnement à distance

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