Instrument de contrôle d'épaisseur de membrane

NégociableMise à jour sur05/28

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Vue d'ensemble

Introduction simple: le Contrôleur d'épaisseur de film CY - FDC - S convient à toutes sortes d'occasions de contrôle d'épaisseur de revêtement telles que le revêtement par faisceau d'électrons, la Pulvérisation magnétron, l'évaporation thermique par résistance, etc. Avec la source d'évaporation formant un contrôle en boucle fermée, le contrôle en temps réel et l'affichage des données complètes de revêtement, y compris la puissance, le taux, l'épaisseur et le temps utilisé, peut être plaqué un film multicouche optique et métallique complexe, par le contrôle de l'écran tactile pour réaliser diverses opérations, plus intuitif et facile à comprendre que l'opération de frappe traditionnelle. La programmation de l'instrument est extrêmement pratique, un total de 8 séries de membranes peuvent être définies, chacune avec 100 couches de revêtement, ce qui vous apporte une grande commodité pour le revêtement multicouche. Ces caractéristiques vous fournissent une bonne base pour obtenir le processus de revêtement. Le Contrôleur d'épaisseur de film FDC - S a plusieurs fonctions spéciales suivantes: contrôle manuel; Fin artificielle du revêtement, revêtement selon la puissance de l'époque lors de la défaillance de la vibration cristalline, commutation de la plaque continue lors de la défaillance de la vibration cristalline (sonde Multi - plaque), interruption du système de film, préfusion simultanée des deux sources, protection cryptographique, etc.

Détails du produit

Présentation détaillée:

Instrument de contrôle d'épaisseur de membrane

Caractéristiques techniques:

1. Opération d'écran tactile complet, simple et facile à utiliser;

2.32Lignées membranaires, par lignée membranaire50 / 100Revêtement automatique de couche;

3.12Entrée de signal routier/ 12Sortie de quantité de commutation de route;

4. Fournit entièrement automatique, semi - automatique, mode de contrôle manuel;

5.Contrôlable2Une source, un ensemble de travail et un autre ensemble de pré - dissolution;

Paramètres techniques

	Contrôleur CY - FDC - S
Fréquence de vibration cristalline	6mhz (2.5m 3M 5m 9m cristal en option)
Mode d'affichage	5 "écran tactile couleur + tube numérique taux d'affichage et épaisseur réelle
Mode de fonctionnement	Écran tactile
Épaisseur finale	00 μ0000 Å - 99 μ9999 Å
Résolution d'affichage d'épaisseur	1Å/s
Résolution d'affichage du taux	0.1Å/s
Nombre de couches de revêtement	32 lignées membranaires de 50 / 100 couches chacune;
Nombre de sondes	A B
Facteur d'outil	0,01 - 99,99
Affichage du temps	00:00:00-23:59:59 H:M:S
Affichage de puissance	0 à 99,9%
Puissance préformée	0 à 99%
Puissance pré - plaquée	0 à 99,9%
Temps de pré - fusion / temps de pré - placage	0～99:99 m:s
Temps d'isolation pré - fondu / temps d'isolation pré - plaqué	0～99:99 m:s
Taux de revêtement (taux de réglage)	0 à 999,9 Å / s
Stockage des matériaux	257 + personnaliser 10 types
Communication	RS232/RS485
Source de vapeur contrôlable	2, peut travailler un ensemble et un autre ensemble pré - dissous
Contrôle de sortie	± 10v / 5V / 2.5V
I / interface	Entrée de signal 12 voies / sortie de quantité de commutation 12 voies
Nombre de Creusets contrôlables	1 à 16
Affichage de revêtement	Courbe de taux / valeur numérique
Nombre de tours de revêtement	50 / 100 couches par ligne de membrane automatique
Dimensions du châssis	480×280×89 mm (châssis 2u 19 ")

Fonctions spéciales:

1, Manuel, semi - automatique, automatique3Type de mode de revêtement pour répondre à de nombreuses configurations de machine de revêtement;

2, Arrêt manuel du revêtement: Arrêt manuel du revêtement pendant le processus de revêtement;

3. contrôle manuel: déterminer les exigences du processus de revêtement initial;

4Système de film interrompu: le revêtement automatique et semi - automatique détecte des problèmes ou des défauts, peut arrêter le revêtement et peut sauvegarder automatiquement l'état actuel, après la défaillance * *, peut continuer le revêtement à partir du système de film interrompu;

5Lorsque le revêtement automatique ou semi - automatique, tel que la défaillance de la vibration cristalline, peut choisir d'appuyer sur terminer le revêtement, le revêtement selon le temps de puissance actuel, la plaque de commutation continue (sonde Multi - plaque);

6Les deux sources sont préformées en même temps: le processus de début de revêtement actuel, peut être sélectionné en même temps pour2La couche est préformée pour répondre aux occasions stressantes sur les exigences de temps;

7Protection par mot de passe: fonction de protection par mot de passe des paramètres du système de membrane et de la couche de membrane, pour protéger les paramètres du processus contre la modification par des personnes non techniques;

8Enregistrement des données de revêtement: lorsque le revêtement automatique ou semi - automatique, le système peut enregistrer le temps de formation du film de chaque couche *, le paramètre de vitesse d'épaisseur finale.

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