Suzhou Yikang Environmental inspection Co., Ltd

Programme d'inspection des salles blanches pour l'industrie électronique

Articles de détection de salle blanche: nombre de changements d'air (vitesse du vent), pression différentielle, température, humidité, bruit, éclairement, pureté (particules de poussière)

Unité client:***Société électronique

Liste des instruments de détection

1, essai de volume ou de vitesse du vent, doit être conforme aux dispositions suivantes:

1 Pour les salles blanches à écoulement unidirectionnel, le débit d'air doit être déterminé par la méthode de la vitesse moyenne du vent de la section et du produit de la section, et le filtre à haute efficacité doit être retiré.300 mmLa section perpendiculaire au flux d'air sert de plan d'essai. Le plan d'essai doit être divisé en grilles égales, chaque grille ayant des dimensions600 mm × 600 mmOu la taille du filtre à air d'extrémité, le point de mesure doit être au centre de la grille ou ne doit pas être inférieur à 3 Le point. Le temps de test à chaque point ne doit pas être inférieur à10 ans. Les valeurs moyennes, maximales et minimales doivent être enregistrées et la moyenne arithmétique doit être utilisée comme vitesse moyenne du vent.

2 Pour les salles blanches à écoulement non unidirectionnel, le temps d'essai à chaque point ne doit pas être inférieur à10 ans- Oui.

3 Mesure de la vitesse du vent d'alimentation à chaque extrémité de la méthode du filtre à air, etc. détermination de la quantité d'air d'alimentation, le nombre de points de mesure dans chaque position d'essai ne doit pas être inférieur à 3 Le point.

2 Essai de pression statique différentielle, doit être conforme aux dispositions suivantes:

1 La détermination de la différence de pression statique doit être effectuée lorsque toutes les portes sont fermées.

2 L'instrument doit adopter divers types de micromanomètre, la sensibilité de l'instrument doit être inférieure à1,0 Pa- Oui.

3 Lorsque vous avez plusieurs salles blanches (zones), vous devez commencer par le test de pression différentielle entre la pièce la plus intérieure et la pièce adjacente et effectuer la détection vers l'extérieur dans l'ordre.

4Prendre un point de test par chambre

3. La détection de la propreté doit être conforme aux dispositions suivantes:

1 Il faut utiliser une quantité d'échantillon supérieure à1l/minCompteur optique de particules, l'instrument doit être choisi en fonction des exigences telles que la capacité de discrimination de la taille des particules, la plage applicable de concentration de particules et l'efficacité du comptage. L'instrument doit avoir un certificat de conformité d'étalonnage valide.

2 Le point d'échantillonnage minimal doit être calculé par:

NL=√ADans la formule – –Le point d'échantillonnage minimal;

A) -Superficie de la salle blanche ou de la zone de nettoyage accusée (m²).

Les points de prélèvement doivent être répartis uniformément sur toute la surface de la salle blanche (zone) et doivent être situés à la hauteur de la zone de travail.

3 La quantité de chaque échantillon à chaque point de prélèvement doit être déterminée par:

VS=[le20/CN, M]Oui100

Dans la formule Les vs –Quantité d'échantillon par point d'échantillonnage, pourLIndique que lorsqueVsEn grande quantité, la méthode d'échantillonnage séquentiel peut être utilisée. Le temps d'échantillonnage minimum pour chaque point d'échantillonnage est1 minute, la quantité d'échantillon doit être au moins2 litres;

CN, M– –Limites de la taille des particules testées pour la classe de propreté de l'air de la salle blanche testée (p/m³);

20 -Nombre de particules mesurables (nombre de particules) Lorsque les limites de la classe de pureté de l'air pour les particules de la taille mesurée sont spécifiées.

Résultats du calcul de la quantité d'échantillon pour un seul point d'échantillonnage dans une salle blanche à tous les niveaux

1. Salles propres de classe 100 (telles que 1 Atelier,2 / 3Laboratoire)

˜≥0,5 μmQuantité d'échantillonnage de particulesPour:

· VS=[le20/CN, M]Oui100 =[20 / 3520] Oui100 = 0,568L

· Résultat du calcul (0,568L) <2L, sur demande obligatoire2L- Oui.

˜≥5μmQuantité d'échantillonnage de particulesPour:

· VS=[le20/CN, M]Oui100 =[20 / 29] Oui100 = 68,97 litres

• Normes de mise en œuvre pratique: 100 salles blanches point d'échantillonnage unique sur demande≥68,97LÉchantillonnage (en tenant compte des deux tailles de particules), avec100L/minCompteur, temps d'échantillonnage1minute

2. Salles propres de classe mille (par exemple 5 Atelier)

˜≥0,5 μmQuantité d'échantillonnage de particulesPour:

· VS=[le20/CN, M]Oui100 =[20 / 35200] Oui100 = 0,0568L

· Résultat du calcul (0,0568L) <2L, sur demande obligatoire2L- Oui.

˜≥5μmQuantité d'échantillonnage de particulesPour:

· VS=[le20/CN, M]Oui100 =[20 / 293] Oui100 = 6,83L

• Normes de mise en œuvre pratique: 100 salles blanches point d'échantillonnage unique sur demande≥68,97LÉchantillonnage (en tenant compte des deux tailles de particules), avec100L/minCompteur, temps d'échantillonnage1minute

3.Salle blanche de classe million

˜≥0,5 μmQuantité d'échantillonnage de particulesPour:

· VS=[le20/CN, M]Oui100 =[20 / 352 000] Oui100 = 0,00568L

· Résultat du calcul (0,00568L) <2L, sur demande obligatoire2L- Oui.

˜≥5μmQuantité d'échantillonnage de particulesPour:

· VS=[le20/CN, M]Oui100 =[20 / 2930] Oui100 = 0,683L

• Normes de mise en œuvre pratique: Multi - classe Cleanroom point d'échantillonnage unique Uniform Press≥2LÉchantillonnage, lors de l'utilisation d'un compteur de débit arbitraire, temps d'échantillonnage≥1min(comme100L/minTest d'échantillonnage de compteur1Minutes)

4Nombre d'échantillons

Le point d'échantillonnage ne doit pas être inférieur à2Un, le nombre total d'échantillons n'est pas inférieur à5fois

4, la température, la détection de l'humidité relative, doit être conforme aux dispositions suivantes:

1 La détection de la température et de l'humidité relative doit être testée dans une salle blanche (zone) avec une distribution uniforme du flux d'air et doit être organisée après que le système de climatisation de purification ait été testé et qualifié. La détection de la température et de l'humidité doit être effectuée une fois que le système de climatisation de purification est opérationnel et qu'il fonctionne au moins de manière stable.

2 La détection de l'humidité relative doit diviser la zone de travail propre en une grille d'égale surface, chaque zone maximale de la grille doit être100m², chaque maille doit être un point de mesure, mais chaque chambre ne doit pas être inférieure à 2 Un point de mesure.

3 Le détecteur pour la détection doit être situé à une hauteur de travail dans la salle blanche (zone) et pas moins loin du plafond suspendu, des murs et du sol de la salle blanche (zone)300 mmIl faut également tenir compte de l'influence des sources de chaleur qui peuvent être présentes dans la salle blanche (zone).

4 Le temps de détection doit être au moins1,0hEt doit au moins6 minutesEffectuer 1 Une fois (30 ans), lecture, enregistrement.

5.Essai d'éclairement, doit être conforme aux dispositions suivantes:

1 La détection de l'éclairement à l'intérieur de la salle blanche (zone) convient à l'utilisation d'un luxmètre portable à enregistrement automatique.

2 La détection de l'éclairement doit être effectuée après stabilisation de la température intérieure et stabilisation de la sortie lumineuse de la source lumineuse. La détection de l'éclairement dans les salles blanches (zones) ne doit pas inclure l'éclairage local et l'éclairage de secours de l'équipement de production, etc.

3 Le point de détection de l'éclairement doit être situé à la hauteur de travail, à une distance appropriée du sol0,85 m, doit être chaque25m²Mettez un point de mesure.

6Détection du bruit

E.6.1Généralement détectable uniquementUnBruit du niveau sonore, si nécessaire, peut être utilisé avec un analyseur d'octave, par fréquence centrale 63、125、250、500、1000、2000、4000Et,8000HzDétection d'octave, près du point de mesure1 mIl ne doit pas y avoir de reflets à l'intérieur. L'échelle minimale du sonomètre ne doit pas être inférieure à0,2 dB(Un).

E.6.2Hauteur du point de mesure par rapport au sol1,1 m. zone dans15 m²Salle propre ci - dessous, peut seulement mesurer le Centre de la salle 1 Le point,15 m²Salle propre au - dessus du Centre 1 En dehors du point, la diagonale doit être mesurée à nouveau 4 Points, de chaque mur latéral1 mLes points de mesure sont orientés vers les coins.

E.6.3Lorsque la salle de nettoyage est pour le flux mixte, le bruit doit être déterminé séparément dans les zones de flux unidirectionnel, les zones de flux non unidirectionnel.

E.6.4Conditionnellement, il convient de déterminer le bruit de fond après l'arrêt du fonctionnement du système de purification de la climatisation, le bruit intérieur diffère du bruit de fond de moins de10 dB(Un), la valeur du point de mesure doit être corrigée: différence (6à9) eten dB(Un) réduit dans le temps1 dB(Un), la différence (4à5) eten dB(Un) réduit dans le temps2dB(Un), la différence3dB(Un) réduit dans le temps3dBLa différence est inférieure à3dB(Un), la valeur déterminée n'est pas valide.

7Les critères de décision