Table de sonde manuelle ts200 8 pouces

Le système de caractérisation de dispositifs de haute puissance MPI est spécialement conçu pour les tests de dispositifs de haute puissance sur Wafer. Le système de sonde MPI ts200 - HP offre une solution complète de plaquettes de 200 mm. Ils sont conçus pour permettre des mesures de faible résistance de contact des semi - conducteurs de puissance sur une large plage de température.

II. Description du produit

1. Conception Multi - applications pour une seule machine

Idéal pour une grande variété d'applications de mesure de plaquettes, telles que la caractérisation et la modélisation des composants, la fiabilité au niveau des plaquettes (WLR), l'analyse de défaillance (fa), l'ingénierie des circuits intégrés, les systèmes microélectromécaniques (MEMS)

2. Conception ergonomique et de sécurité

• Conception de table flottante d'air de remorquage de dégagement rapide pour le fonctionnement facile d'une seule main
• Table robuste pouvant supporter jusqu'à 10 micro - positionneurs haute tension HV ou 4 micro - positionneurs HC à courant élevé
• Boîtier de blindage électromagnétique et plan de travail arcshield conçu pour assurer la sécurité de la mesure haute tension
• Conception de la poignée de levage rapide de la table à trois sections (Contact - Separation - loading) pour une grande reproductibilité

3. Options élastiques et évolutivité

Il existe également de nombreuses options de connexion d'instrument et de support de disque à mettre à niveau, ainsi que de nombreux accessoires tels que des micro - localisateurs DC / RF / MMW, des microscopes optiques, des objectifs d'image, des boîtiers de blindage électromagnétique, etc. à transporter pour répondre pleinement aux besoins de l'application.

Iii. Caractéristiques et avantages

1. Phase d'air

La conception de la plate - forme de palier à air MPI, avec un simple contrôle de disque d'une main, offre une commodité de fonctionnement inégalée pour une navigation XY rapide et un chargement rapide de la plaquette sans compromettre la capacité de positionnement précis et précis, avec un mouvement micromètre XY Theta de 25x25mm extra - fin et précis.

2. Mandrin annulaire 10kV coaxial ou 3K triaxial (10kV coaxial ou 3Kv triaxial Ambient chucks)

Les options de mandrin comprennent le mandrin annulaire coaxial 10kV ou 3Kv triaxial de MP ou une variété de mandrins thermiques ERS qui peuvent prendre en charge des mesures de température jusqu'à 300 ° c. Le Contrôleur Hot Touch est conçu pour être monté sur la sonde, ce qui le rend rapide et facile à utiliser.

3. Sonde HV / HC (Probes HV / HC)

Les solutions de détection haute puissance de MPI comprennent des sondes haute tension et haute tension spécialisées qui utilisent les embouts Multi - contacts exclusifs de MPI pour réduire la résistance de contact. Les sondes haute tension de MPI sont capables de mesurer de faibles courants de fuite lors de tests haute tension, avec des réglages triaxiaux jusqu'à 3 kV ou coaxiaux de 5 et 10 kV.

Sécurité et accueil (Safe and Accurate)

Le système de sonde haute puissance manuel standard est configuré avec darkox, offrant un verrouillage des fonctions de sécurité et de blindage em pour assurer un faible bruit sec, des mesures précises et sûres.

Intégration des instruments (instruments Integration)

Le ts150 - HP / ts200 - HP peut être configuré avec une large gamme de packs de connexion d'instruments, qui comprennent les sondes haute tension / courant élevé et les accessoires de câblage nécessaires pour une connexion optimale avec des instruments de test tels que le keysight b1505 (3Kv ou 10kV) ou keithley 2600 - PCT - XB, y compris l'intégration du panneau d'interface haute puissance 8020.

Iv. Paramètres fonctionnels

Spécifications

Plaque de pression de sonde

Mandrin haute puissance non thermique