Automegasamdri - 938, sécheur de point critique série C

Automegasamdri-938,

Série C

• Caractéristiques du produit:

• Une nouvelle configuration de contrôle dédié « slow charge » qui donne à la cavité de l'échantillon une dynamique de fluide CO2 idéale, protégeant la plupart des échantillons fragiles;

• L'unité de filtration après purge est configurée à l'extérieur pour protéger l'échantillon, facile à remplacer et à entretenir plus tard;

• L'agitation non mécanique brevetée exclusive "Vortex Swirl" a été utilisée pour que purge soit complet sans destruction de l'échantillon;

• Système de cycle de refroidissement interne fermé à haute efficacité, peut refroidir rapidement la température de la cavité et réduire le temps de fonctionnement;

• Condenseur SOTER intégré pour séparer l'éthanol abandonné et les gaz d'échappement et éliminer le bruit des gaz d'échappement;

• Bloc de remplissage de Chambre d'échantillon unique qui peut changer le diamètre de la Chambre d'échantillon, réduire la consommation de dioxyde de carbone liquide et le temps de traitement, et compatible avec le traitement de différentes tailles de plaquettes;

• Système de filtration interne qui filtre le dioxyde de carbone liquide qui s'écoule dans la Chambre d'échantillon, la taille minimale des particules filtrées atteint 0,08 μm;

• Une seule opération peut traiter 5 tranches de 8 pouces, changer la taille de la Chambre d'échantillon, chaque opération peut également traiter des tranches de 6 pouces, 4 pouces, 3 pouces, 2 pouces et des cristaux carrés de 10 mm;

• 1 pour chacun des porte - échantillons de plaquettes de 8 pouces, 6 pouces, 4 pouces, 3 pouces, 2 pouces et porte - échantillons de cristaux carrés de 10 mm compatibles avec le téflon de série;

• Chambre d'échantillon verticale avec éclairage dans la chambre intérieure, couvercle de la Chambre d'échantillon avec fenêtre d'observation;

• Contrôle d'écran tactile LCD lumineux;

• Programme d'exécution automatique d'usine intégré et peut créer et enregistrer des programmes personnalisés;

• Toutes les surfaces internes conviennent au CO2, à l'acétone et à l'éthanol ultra - pur;

• Les paramètres définis peuvent être répétés, assurant la répétabilité des résultats;

• Module intégré de contrôle automatique de la température et de la pression statique pour assurer un fonctionnement automatique et sûr;

• Conception compatible de salle blanche et antistatique;

Tous les composants électriques sont conformes aux normes UL, ce et US Military;

• Spécifications du produit:

• Dimensions extérieures: largeur 19,8 "(50,3 cm) × profondeur 31,7" (80,6 cm) × hauteur 44,5 "(113,0 cm);

• Dimensions au sol de l'installation: largeur 27 "(68,6 cm) × profondeur 38" (96,5 cm);

• Dimensions de la Chambre d'échantillonnage: diamètre intérieur 8,5 "× profondeur 1,25", volume de la Chambre d'échantillonnage: 1162 ml;

• Le débit de lco2 est contrôlé par une vanne microdoseuse à étrier vernier;

120V / 50 - 60HZ (autre tension en option);