La pompe turbomoléculaire est une sorte de pompe à vide mécanique avec un Rotor tournant à grande vitesse pour transporter le Mouvement des molécules de gaz afin d'obtenir un vide ultra - élevé, est composée d'une turbine mobile et d'une turbine statique, plus économe en énergie que la pompe à diffusion, pas de pollution par la vapeur d'huile, tout en présentant les caractéristiques d'une grande vitesse d'extraction et d'un taux de compression élevé lors du flux moléculaire, est actuellement une pompe moléculaire domestique à grande vitesse d'extraction, la turbine mobile utilise un traitement à section variable, sa résistance augmente le poids et réduit, ce qui rend la performance de
Précautions de fonctionnement pour les pompes turbomoléculaires
♦ Vous ne pouvez pas arrêter la pompe turbomoléculaire lorsque la pompe de l'étage avant fonctionne (la ligne de l'étage avant est allumée) et lorsque la chambre à vide est sous vide, sinon la vapeur d'huile sera rapidement renvoyée de la ligne de l'étage avant vers l'extrémité propre de la pompe.
♦ Système de pompe moléculaire avant l'arrêt pour charger le gaz sec, assurez - vous d'éteindre l'eau de refroidissement de la pompe moléculaire d'abord et de gonfler l'extrémité de la pompe à vide élevé. Le gonflage ne doit jamais être effectué à partir de la ligne de l'étage avant de la pompe.
♦ La taille de la pompe de l'étage avant du système est choisie, de sorte que l'étage avant de la pompe turbomoléculaire reste dans l'état de flux moléculaire.
♦ Vous ne pouvez pas laisser la pompe turbomoléculaire fonctionner en dessous de la vitesse de fonctionnement nominale.
♦ L'entrée de la pompe moléculaire doit être munie d'un filet de protection pour éviter que des corps étrangers ne pénètrent à l'intérieur de la pompe pour endommager le rotor de la pompe et les aubes du stator.
Domaines d'application des pompes turbomoléculaires, y compris, mais sans s'y limiter:
♦ Analyse (Analyseurs de spectrométrie de masse, microscope électronique, etc.).
♦ Industrie des semi - conducteurs (composants électroniques, circuits intégrés, cellules solaires, etc.).
♦ Industrie optique / verrière (thermique, antireflet, réfléchissant, revêtement filtrant optique, etc.
♦ Technologie de revêtement (protection de surface, revêtements décoratifs, écrans, etc.).
♦ Fusion sous vide (soudage sous vide, frittage sous vide, alliage sous vide, four sous vide, etc.).
♦ Technologie de détection des fuites (équipement de vide, réservoir de carburant du véhicule, airbag, emballage, etc.).
♦ Matériel de recherche scientifique (physique nucléaire, recherche sur les réactions de fusion, applications laser, etc.).
♦ Industrie des appareils d'éclairage (production d'ampoules).