I. Aperçu

L'unité de vide à plaques rotz est un système d'extraction d'air à vide combiné à plusieurs étages à haut rendement composé d'une pompe roots et d'une pompe à vide à plaques rotts en série. L'unité combine la grande capacité d'extraction de la pompe roots et les avantages du taux de compression élevé de la pompe à plaquettes rotatives, largement utilisée dans les domaines industriels nécessitant un vide moyen à élevé (10⁻² ~ 10⁻pa), tels que la fabrication de semi - conducteurs, le revêtement sous vide, la chimie pharmaceutique, etc.

II. Principe de fonctionnement

̸1, pompe roots (pompe principale) ̸

• utilise une paire de roues à aubes (rotors) contrarotatives synchronisées pour pousser le gaz de l'entrée d'air vers l'échappement par engrenage sans contact.

• pas de compression interne, dépend de la rotation à grande vitesse pour une grande vitesse d'extraction (jusqu'à 1000 ~ 20000 m³ / h).

• doit être utilisé avec la pompe de l'étage avant (pompe à disque rotatif), car la pompe roots elle - même ne peut pas évacuer directement le gaz amplifié.

̸2, pompe à palette (pompe de l'étage avant) ̸

• Le gaz est comprimé et évacué par un Rotor excentrique et une rotule, fournissant un vide primaire (vide limite d'environ 10⁻²pa).

• Créer un environnement de contre - pression faible pour les pompes Roots, assurant un fonctionnement efficace de l'unité.

3, processus de travail collaboratif

• Le gaz est d'abord pompé par la pompe à rotule dans la gamme de vide moyen (1 ~ 10 Pa), puis la pompe roots est activée pour augmenter encore le vide à un niveau supérieur.

Iii. Caractéristiques techniques

1, haute efficacité énergétique

• La vitesse d'extraction de la pompe roots dans l'intervalle de basse pression est significativement supérieure à celle de la pompe à rotule à un étage, la consommation d'énergie est réduite de 30 à 50% par rapport aux unités conventionnelles.

2, large gamme de travail

• couvre le vide moyen à élevé (10⁵ ~ 10⁻ ⁴ pa) pour s'adapter aux besoins changeants du processus.

3, faible vibration et faible pollution

• La conception sans huile de la pompe roots réduit la pollution, la pompe à disque rotatif peut être lubrifiée à l'huile ou sèche (pompe à disque rotatif sans huile) pour répondre aux exigences de nettoyage.

4, contrôle intelligent

• Les unités modernes sont équipées d'un système de contrôle PLC qui régule automatiquement la vitesse de la pompe, la protection contre les surcharges et la séquence de démarrage et d'arrêt.

Quatre, scénarios d'application typiques

1, photovoltaïque et semi - conducteurs

• Entretien de l'environnement sous vide pour le revêtement de disque, équipement de gravure.

2, produits chimiques et pharmaceutiques

• Processus de récupération de solvant, séchage sous vide, distillation moléculaire, etc.

3, recherche scientifique et laboratoire

• Unité de rayonnement synchrotron, lyophilisateur sous vide, etc.

4, emballage alimentaire

• retirez rapidement l'air à l'intérieur de l'emballage pour prolonger la durée de conservation.